进入半导体行业后,有一些例子是真真切切地让我知道了知道什么叫一句话能带来几十万的损失,也让我知道了一句话也许能帮公司减少几十万的损失。
半年前,制造部的同事由于不记得晶圆应该放在炉管的哪个舟位上作业于问工艺的同事要指令。但工艺同事说了一个错误的位置,作业完后整批晶圆的膜层全部长薄将近100埃,24片产品面临报废的风险。24片晶圆光成本就要近24万!这个问题被我们工艺经理知道后马上开会提出一个方案:先将误操作的晶圆hold住,不让往下流水作业。再将5片监控片放不同的舟位上做一次test run,再将这5片监控片放到下一道工艺的不同位置上摸清哪个位置上的数据能让膜厚做厚一些,弥补变薄的前一道膜层。最后再将产品下放流水作业。这一方案将产品膜厚最终减少到只薄了不到10A。这个月前我一查,这批晶圆已经通过电性,可靠性实验了。